Forschung
Arbeitsgebiete:
- Metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE)
- Lokale Epitaxie
- Hochleistungsimpuls-Magnetron Sputtern (HIPIMS)
- Wachstum von III/V-Halbleitern
- Wachstum niederdimensionaler Halbleiterstrukturen
- Dünnschicht-Röntgencharakterisierung (HRXRD, GIID, GIXRR, GIXRF, RSM)
- Physik von Halbleiterbauelementen (Laser, LED, FET)
- Nichtklassische Lichtquellen
- Halbleiter-basierte Sensorik