Forschung

Arbeitsgebiete:
  • Metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE)
  • Lokale Epitaxie
  • Hochleistungsimpuls-Magnetron Sputtern (HIPIMS)
  • Wachstum von III/V-Halbleitern
  • Wachstum niederdimensionaler Halbleiterstrukturen
  • Dünnschicht-Röntgencharakterisierung (HRXRD, GIID, GIXRR, GIXRF, RSM)
  • Physik von Halbleiterbauelementen (Laser, LED, FET)
  • Nichtklassische Lichtquellen
  • Halbleiter-basierte Sensorik

Letzte Änderung: 05.10.2017 - Ansprechpartner:

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